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平面度检测
文章作者:system 更新时间:2019-05-15
密封产品对摩擦端面的平面度检测要求是很严格的,除了对产品进行时间和工艺上的时效外,对产品出厂标准也作了严格的规定,通过干涉检测,干涉圈限定在一个之内,这主要是消除在运输和保管上可能造成的端面再次变型后,而不至影响其正常使用,一般地干涉光圈不得多于三个。
检测时,将被测平面紧贴于平晶。两个表面都必须仔细擦净,使两表面之间形成极薄的空气膜,单色光源透过空气膜,就会产生明暗相同的干涉条纹。
1、直带 干涉条件为直带,表面被测件平面度非常高,接近于理想,平面度偏差小于0.029μ m。
2、同心圆干涉条纹 干涉条纹呈同心圆状。这表明被测表面有微波的曲率,不是中凸还是中凹。
3、弯曲的干涉条纹 当出现几条弯曲的干涉条纹时,可通过一条假想的直线与曲率最大部位的干涉条纹相切来测量。如果这条切线仅与一条干涉条纹相交,那么,被测件的平面度偏差就在一条干涉条纹以内;当切线与两条更多的弯曲条纹相交时,平面度偏差则为相交数乘以0.29。
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